长春电子厂除异物设备 上海拢正半导体科技供应

微小器件对应型旋风模组头的设计是在一般平面型的基础上，针对微小型产品更高精度的除尘清洁要求，使用升级定制的高旋转轴及螺旋气嘴，并以多年现场经验和积累的气流模拟量算法布置排列，可针对用户的不同使用场景设定使用。光学膜除异物设备采用集尘辊上下集尘，长春电子厂除异物设备，集尘辊为可剥离式集尘纸卷（收集并转移微尘作用）为日用耗材，可用免刀（带刻印线）集尘纸卷，很大程度上提高工作效率，清洁性能较好；进、出口配4支强劲除静电离子棒除静电功能，完全消除静电干扰、轻易除尘，减少二次污染；速度0-45米/min可调。光学膜除异物设备是专门针对各类膜片双面赃物、灰尘、静电清洁之作用的机器，长春电子厂除异物设备、该机器由静电消除器、矽胶除尘轮，长春电子厂除异物设备、高粘集尘纸卷组成，利用静电消除器对各类板材表面静电进行去除，使其表面赃物及尘埃不具吸附性，再由矽胶除尘轮对其表面进行除尘、由高粘集尘纸卷将矽胶除尘轮上赃物转移，使其保证洁净避免再次污染。除异物设备去除元件上的**物、氧化物、微小颗粒等，活化提升元件表明的附着力和粘接力。长春电子厂除异物设备

薄膜、卷板对应型旋风模组设计保持了平面型和微小器件对应型的外观与内部整体结构，并针对卷板/薄膜/膜片制造工艺中的大宽幅、裁切后边部处理再清洁、除异物毛刺等需求，进行高旋轴与特制气嘴的优化排列，可满足现有干燥炉、再复合、精度提升等新工艺中的洁净度要求。除异物设备处理过程中不会引入污染，洁净度高。除异物设备处理芯片和封装载板，不仅可以获得**清洁的焊接表面，还可以提高焊接表面的活性，有效防止虚焊，减少空洞，提高填料的边缘高度和包容性，提高封装的机械强度，减少不同材料的热膨胀系数在界面之间形成的内应剪切力，提高产品的可靠性和使用寿命。除异物设备的应用包括预处理、灰化/光刻胶/聚合物剥离、晶圆凸点、消除静电、介电质刻蚀、**污染去除、晶圆减压等。除异物设备不仅能彻底去除光刻胶等**物，还能活化加粗晶圆表面，提高晶圆表面的浸润性，使晶圆表面更加具有粘接力。除异物设备可以去除晶圆表面的残留物，提高材料的表面性能。除异物设备对晶圆的表面处理，可达到清洁和安全的作用。长春电子厂除异物设备除异物设备可以增加铜表面的粗糙度，提高产品的可靠性。

各种晶圆的制程工艺较其精密复杂，各大厂有不同的工艺管控能力。作为前后道主制程工艺的辅助清洁设备单元，旋风清洁/除尘/除异物系统，以非接触式、高效清洁、方便加装等优势，得到了晶圆厂及设备商的采用。在半导体产业链中，晶圆清洁是一个重要环节，它应用于对原料和半成品每一步可能存在的杂质进行清洁，以避免杂质影响产品的质量和下游产品的性能，晶圆除异物设备对于单晶硅的生产、光刻、刻蚀、沉积等关键工艺以及封装工艺中的使用都是不可缺少的。由于工艺技术和应用条件的不同，使得目前市场上的半导体晶圆除异物设备也存在明显的差异性。除异物设备清洁能力强，适于大批量生产，包括锯晶圆、晶圆磨薄、抛光、CVD等环节，尤其在晶圆抛光后的清洁中占有重要地位。

用户可以在新设工艺产线中加入旋风清洁设备，或在原有工艺设备中的必要节点加装旋风模组单元，均可达到升级改善原有洁净度、提升良率、减少人工、增进效率的良好效果。半导体行业为什么需要除异物设备呢？半导体制造需要一些**和无机物质参与，此外，由于工艺总是由净化室的人进行，半导体晶片不可避免地会受到各种杂质的污染。根据污染物的来源和性质，大致可以分为四类：颗粒、**物、金属离子和氧化物。随着半导体技术的不断发展，对工艺技术的要求越来越高，尤其是对半导体晶片的表面质量。主要原因是晶片表面的颗粒和金属杂质的污染会严重影响器件的质量和成品率。在半导体生产过程中，几乎每个工序都需要清洁处理，晶圆清洁处理的质量对器件性能有着严重的影响。除异物设备的性能对于提升产品良率至关重要。

卷对卷（薄膜、卷板)对应型-旋风**高精密除尘模组设备是指对以Roll To Roll工艺生产的卷板、薄膜、膜片等产品进行非接触式精密清洁。薄膜除异物设备运用静电设备中和薄膜按键板面静电、粘尘滚筒(粘尘胶辊)将薄膜按键上的异物清洁，并将异物转移至粘尘纸卷的一种薄膜按键表面除尘机除静电除尘设备，它还适用于其他3C行业平面材料表面清洁粘尘。由于近几年3C产品越做越薄，所以有些平面耗材也相对以前的薄，那么薄膜除异物设备也是当前选择比较多的除异物设备之一，薄膜除异物设备作为薄膜材料的主要除异物设备，技术方面已然成熟，薄膜除异物设备体积小，美观，操作方便，维护便捷，针对薄膜材料不卡料、卷料、无压伤等特点，是薄膜材料除异物选择。除异物设备在提高任何材料表面活性的过程中是安全的、环保的、经济的。长春电子厂除异物设备

除异物设备在去胶工艺中具有操作方便、效率高、表面干净、无划伤、有利于确保产品的质量等优点。长春电子厂除异物设备

卷对卷（薄膜、卷板)对应型-旋风**高精密除尘模组设备是指对以Roll To Roll工艺生产的卷板、薄膜、膜片等产品进行非接触式精密清洁。薄膜是一种薄而软的透明薄片，用塑料、胶粘剂、橡胶或其他材料制成。薄膜科学上的解释为：由原子，分子或离子沉积在基片表面形成的二维材料。例：光学薄膜、复合薄膜、**导薄膜、聚酯薄膜、尼龙薄膜、塑料薄膜等等。薄膜被普遍用于电子电器，机械，印刷等行业。薄膜材料是指厚度介于单原子到几毫米间的薄金属或**物层。电子半导体功能器件和光学镀膜是薄膜技术的主要应用；薄膜生产运行过程中经常放出时产生静电，由于材料较薄，容易吸附小的杂质，压合后造成产品质量问题，因此需要使用薄膜除异物设备。长春电子厂除异物设备

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